全自动分选线

全自动分选线2

CMM

平面度仪Zygo-NV7300-精度0.001μm

膜厚仪 FISHER X-RAY

全自动外观机

轮廓度仪 Hommel T8000 精度 0.001μm

粗糙度仪

2.5次元

GOM 3D扫描仪

高度仪

100%涡流检测